场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）

 
规　格　型　号
日立 S-4800
设　备　编　号
暂无
购　置　日　期
2009.3
制　造　厂　商
日本日立
国　　　　　别
日本
单　　　　　价
33.5万美圆+7.2万美圆（EDS）
主要技术指标
分辨率
 1.0 nm(15 KV)
1.4 nm(1.0 KV)
2.0 nm(1.0 KV减速模式）
能谱仪（EDS）
 Mn-Ka 123.39ev
可以分析Be以上所有元素

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