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X射线光电子能谱XPS
规 格 型 号
PH1500C
设 备 编 号
20704413
购 置 日 期
2007.10
制 造 厂 商
真空
国 别
日本
单 价
3536908.5
主要技术指标
分辨率
10μm
表面深度
10 nm
最低能量扫描进度
0.025 eV
元素含量分析最低值
万分之五
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127
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